由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
旋片式真空泵定期检查：
1、真空泵主要技术性能(真空度等)达到设计要求或满足工艺要求附属设备(冷凝器等)齐全；真空泵设备运转平稳、声响正常、无过热现象、封闭良好.
2、旋片式真空泵设备润滑系统完好且真空油质符合规定要求并定期进行检查、换油.
3、各种仪表(如真空表等)指示值正确并定期进行校验；各阀门启闭灵活、密封良好、无泄漏现象其管道无泄漏并定期进行检查.
4、电动机配备合理运行正常(温升和声响正常)，电气线路安全可靠有接地保护措施，电气装置(控制柜)可靠电气仪表指示正确.
5、设备及冷却系统设施整洁、无锈蚀.
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