真空泵应安装在地面结实坚固的场所,周围应留有充分的余地,便于检查、维护、保养。安装原理图。真空泵底座下应保持地基水平,底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装,确保真空泵运转平稳,振动小。真空泵与系统的连接管道应密封可靠,对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶,宜昌旋片式真空泵,对小真空泵可采用真空胶管连接,管道管径不得小于真空泵吸气口径,且要求管路短而少弯头。(焊接管路时应清除管道中焊渣,严禁焊渣进入真空泵腔。)
水环式真空泵技术改造的具体步骤:
1、机械改造部分:改装后的进气管路比原来水环真空泵管路加长了700mm左右,xd旋片式真空泵,增加的零部件在图上已经标出,如果位置不够,可将管路上的闸阀改为竖直装在管路上,这样就有截断700mm的管路的余地。
2、泵组控制部分改动:增加压力开关47a(双触点47a1、47a2)其作用是用来控制进气三通与喷射器三通接管间的气动蝶阀(16b)以及喷射器上的气动蝶阀(19a)的开与关,从而控制喷射器的投入和退出。
3、当一台主泵运行时,压力开关测得压力小于10kpa(具体可设定)时,大气喷射器切换阀[16b]关闭,同时大气喷射器驱动气体阀门[19a]开启,当上述两个阀门动作完成后,大气喷射器处于投入状态。
4、当一台主泵运行时,压力开关[47a2]测得压力大于14Kpa时(此值可自己设定),大气喷射器驱动气体阀门[19a]关闭,同时大气喷射器切换阀[16b]开启,当上述两个阀门动作完成后,大气喷射器处于退出状态。
5、原来机组压力开关和压差开关的设定值均不需改变。
由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,2X旋片式真空泵,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,单级旋片式真空泵,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。