在旋片真空泵的构造方面，为了能在停泵时避免返油，有的设有能自动切断油路的止回阀，有的设有进气通道截止阀，有的为了能在泵开气镇运转忽然停电时自动切断气路来坚持泵口处于真空形态而设有油泵和控制构造。在附件方面，有消雾器，气息过滤器，阻挠碎玻璃等杂物用的人口过滤器，灰尘过滤器，气水分离器，有控制泵温以进步水蒸气抽除率和维护泵的温控水量调理阀。
旋片式真空泵，它有公平地装在定子腔内的转子及转子槽内的两个或数个旋片，转子与泵壳内外表或相切或相交，转子带动旋片旋转时，旋片借向心力（有的还有弹簧力）紧贴缸壁，把进排气口联系开来，并使进气腔容器周期性扩展而吸气，排气腔容积则周期性地减少而紧缩气体，借气体和油的压力推开排气阀排气，从而取得真空。双级泵由二个单级串联而成，进气压力高时，普通大中型泵，二级可同时排气，进气压力低时，气体由初级排入低级，然后再排出泵外。
由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对泵有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
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