由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,旋片真空泵,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
选择水环真空泵的时候要了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。一般真空度进口温度不能高于50度,2x-70旋片式真空泵,如高于50度要考虑安装冷凝器.如进口气体中含有杂物,需在真空泵进口处安装除尘器或类似设备.
SZ水环真空泵的选型:
SZ水环真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。一般真空泵选型合适的情况下,真空泵不会有过大振动的现象,除非真空泵选择过小,真空泵用功过大,这种现象会导致真空泵过载,发热,有烧电机的情况出现.使用真空泵的过程中检查振动的原理,合理的排除问题.如无法解决可咨询厂家。