由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,单级旋片真空泵,但不能抽氦,旋片真空泵,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,循环水真空泵,故都需要把泵组合起来使用。
水环式真空泵(简称水环泵)是水泵中的其中一种,属于它所能获得的极限真空为2000~4000Pa,串联大气喷射器可达270~670Pa.水环式真空泵也可用作压缩机,称为水环式压缩机,是属于低压的压缩机,耐腐蚀真空泵,其压力范围为1~2×105Pa表压力。
循环水真空泵的工作水与被压缩气体是一起排出的.因此水环需用新的冷水连续补充.以保持稳定的水环厚度和温度。水环除起“液体活塞”作用.还有散热(对缩压过程).密封(叶轮与配气板之间)冷却(轴封件)等作用。因此泵的工作转速(对应一定的水环厚度)实际工作水温和配气孔布置是几个主要影响因素.对抽气量、工作效率和压缩比(包括可达真空度)起决定性作用。
能随时根据系统真空度变化自动启停。当系统真空降低到比设定值还大10kPa100mbar时,机组配三台循环水真空泵.正常运行时投用一至两台。每台均为10U%容量。如一台泵运行时由另一台泵处于自动备用。则由压力开关的作用又使备用泵停下,这样就保证了抽气压力在规定范围以内运行。