由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,耐腐蚀真空泵,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
旋片式真空泵的保养:
尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内,以保证真空泵在高效率点运转,才能获得大的节能效果。真空泵在工作一个月内,经100小时更换润滑油,以后每个500小时,换油一次。 如发现真空泵有异常声音应立即停车检查原因。真空泵要停止使用时,先关闭闸阀、压力表,SKA水环式真空泵,然后停止电机。真空泵在寒冬季节使用时,停车后,需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。经常调整填料压盖,保证填料室内的滴漏情况正常(以成滴漏出为宜)。
在装接电源时,严格按电机标牌的规定接线,应注意电机旋转方向与支座上的箭头方向要一致。连续被抽容器的管道,其直径应不小于泵的进气口直径,且管道应短和弯头少,同时注意管道应无泄漏。每次起动前着重查看油位,以停泵时注油至油标玻璃直径的4/5高度为宜。