真空泵的使用:
真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。满足真空设备的极限真空及工作压强要求。由于每种真空泵都有它的极限真空度,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,水环式真空泵,互相补充才能满足抽气要求。若设备严格要求无油时,应该选择各种无油泵,如:无油真空泵、水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油的旋片真空泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
每种泵都有一定的工作压强范围,水环真空泵,如:SKA型水环式真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,不锈钢真空泵,而不能让它在25~30mmHg下长期工作。
旋片式真空泵漏油,可以发生在轴封,油箱与泵零部件的密封面,放油塞、油标、油孔闷头,定子部件与支座的通孔衔接处,气镇阀等部位。可由密封件老化,装置不当,运行时间久损坏,外表不平整,有杂质,粗糙和铸件疏松等引起。假如停泵后返油,油会进入气镇阀,不关气镇阀可能会漏油。发生这些现象时可遂一检查这些部位,如有损坏的更换即可。
旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下:在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1(Pa)下,其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%.